超纯水是相对性于纯水来讲的，肯定纯粹的水里仅有水分（H2O），氢、氧二种原素，此类水不导电性。

超纯水是现阶段人为因素能制取的贴近肯定纯水的水，现阶段能够做到的超纯水的大电阻器是18.2MΩ。一般饮用水因其带有多种多样正离子、通电胶体溶液以及它带正电荷的杂质，而促使水导电性。在生产制造行业，许多加工工艺都对水里杂质成分及类型有一定的限定，因而，超纯水的定义在工业生产行业发生较早。

膜解决方式 发生之后，超纯水的发展趋势进到一个新的时期。膜解决方式 包含很多种多样，例如微滤（MF）、钠滤（NF）、超滤膜（UF）、ro反渗透（RO）、渗析（D）、电渗析（ED）、添充床电渗析（EDI）、汽体分离出来（GS）、渗入气化（PVAP）、乳化油膜（ELM）等。在其中GS、PVAP、ELM在水处理之中运用较少，D、ED的方式 因为有其本身局限，如今运用也较为少，现阶段渗析在医疗行业也有一定的运用，但在水处理之中应用较少。